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優異的抗腐蝕性氣體及其所夾帶液體的處理能力，真空度可達10-3托。
VPS的C系列干式真空泵包含所有P系列的傳統優勢
（極限真空度高、防腐蝕及冷氣效果等）
極限真空度高
干式螺桿真空泵能在大氣壓至極限壓力的全范圍內持續運行。單泵運行極限真空度可以達到1Pa，并且效率極高。
防腐蝕設計
- 經過特殊涂層（PTFE、PFA、Ni、NIFA等）處理可以用于輸送有毒、有腐蝕性和可凝性的氣體。
-通過氣鎮降低蒸汽的壓力來防止腐蝕性氣體冷凝。
-冷卻效果好
- 無需冷卻氣體
- 獨特的夾套水冷結構
- 出口溫度降至符合或接近T4要求
能耗
-變螺距結構設計
- 能耗降低30％以上
特性
密封結構可靠耐用
● 采用機械密封和唇形密封
● 干式真空泵專用機械密封
● 機械密封前設有空氣和氮氣氣障保護
采用變螺距螺桿
● 合理的泵溫升設計防止涂層損壞
● 節能設計降低能耗30％以上
真空度的改進
● *大真空度達到0.0075Torr（1Pa）
● 真空度高，提高抽氣效率
● 真空度從大氣壓到1torr保持穩定的抽速
螺旋式夾套冷卻結構
● 螺旋式夾套具有優良的冷卻效果
● 運行溫度低
● 通過少量的冷卻液量就可以控制泵內溫升
設備材質
●腔體:球墨鑄鐵（特氟龍涂層，標配PTFE涂層
●螺桿: 球墨鑄鐵（特氟龍涂層，標配PTFE涂層）
●軸封
-進氣口（后端）: 雙唇密封+單唇密封
-出氣口（前端）: 機械密封+唇形密封
- 驅動端: 油封
●軸承
- 進氣口（后端）: 滾柱軸承
- 出氣口（前端）: 雙滾珠軸承
- 驅動端: 單滾珠軸承
●O型圈 : 氟橡膠
另外，還有以下選項可選
? 特殊涂層-加厚特氟龍（PFA），鎳氟龍（NIFA），鍍鎳等
? 特殊O型圈，如全氟醚O型圈
? 特殊機型密封，如哈氏合金，耐蝕高鎳
通暢的排氣口結構
●氣體通路短，可使氣體快速排出
●可以順暢地排出泵內因冷凝產生的積液
●卓越的流體處理能力
IEC法蘭（NEMA可選）
●簡潔的C法蘭設計降低了噪音水平，消除了聯軸器校準問題
●增強的螺紋防止變形和振動
防潤滑脂泄露
●三聯唇型密封
●優化潤滑空間，防止潤滑脂泄露
VPS?C系列干式螺桿真空泵 參數表
型 號
VPS-C130
VPS-C300
VPS-C400
VPS-C800
抽 速
50/60Hz
M3/h
110/130
250/300
330/400
680/800
CFM
64.7/76.5
147.1/176.5
194.2/235.4
400.2/470.8
極限
壓力
(Torr)
0.03/0.01
0.01/0.0075
0.01/0.0075
0.01/0.0075
(Pa)
4.0/1.33
1.33/1.0
1.33/1.0
1.33/1.0
電機功率(Kw,50/60Hz)
3.7
7.5
11
15
泵轉速(RPM) 50/60Hz
2900/3500
2900/3500
2900/3500
2900/3500
口徑
入口(A)
40
50
65
100
出口(B)
40
40
50
65
齒輪油(L)
1.0
1.0
1.2
2
冷卻水(L/min)
5~10
10~15
10~15
15~20
重量(Kg,泵體)
190
290
370
580
韓國VPS_C300_C400_C800系列變螺距干式真空泵